Permeabilitet av gaser genom olika polymera material samt beständighet mot lösningsmedel


Ref: C.P.Wong med flera,"Novel Bi-layer Conformal Coating for Reliability Without Hermeticity MEMS Encapsulation "IEEE Transaetions on Electronics Packaging and Manufacturing, Vol 22, No 3, July l999, p.196".

Normaliserad permeabilitet av gaser genom olika polymera material

Material 02 N2 CO2 H2 H2O
Parylene C 2,8 0,4 3 43 0,08
ParyleneD 12 1,8 5 94 0,1
ParyleneN 15 3 84 213 0,6
HDPE 73 17 228 n.d. 0,12
PS 138 23 400 n.d. 3,5
PTFE 223 133 n.d. 516 n.d.
LDPE 140 80 700 n.d. 0,6
PC 124 22 827 n.d. 1,5
FEP 295 126 657 381 0,16
Silicone 19000 n.d. 118000 17000 3



Parylene C påverkas även mycket litet av olika lösningsmedel enligt följande tabell enl ref ovan (Svällning mättes efter nedsänkning 90 minuter i resp vätska)
 
Solvents % swelling of Parylene
Class Test Member N C D
Alcohol Isopropyl 0,3 0,1 0,1
Aliphatic Hydrocarbon Iso-Octane 0,2 0,4 0,3
Amines Pyridene 0,2 0,5 0,5
Aromatic Hydrocarbon Xylene(mixed)  1,4  2,3 1,1
Clorinated Aliphatic Triclorethylene 0,5 0,8 0,8
Clorinated Aromatic Clorobenzene  1,1  1,5  1,5
Clorinated Aromatic 0-Dichlorobenzene  0,2  3,0 1,8
Freon Trichlorotrifluoroethane  0,2  0,2  0,2
Ketone Acetone  0,3  0,9 0,4
Keton 2,4-Pentanedione  0,6  1,2  1,4

ParaTech Coating Scandinavia AB
http://www.paratech.nu
Mats Nyberg email:mats.nyberg@hpetch.se